레이저 빔으로 공작물을 제작하기 위한 기기

본 발명은 레이저 빔(102)으로 공작물(101)을 기계가공하는 기기(100, 200, 300, 700) 및 방법(400)에 관한 것이다. 기기(100, 200, 300, 700)는 가압 유체 제트(104)를 제공하고 적어도 하나의 광학소자(105)를 통해 레이저 빔(102)을 공작물(101)를 향한 유체 제트(104) 내로 결합시키도록 구성된 기계 기계가공 유닛(103)을 포함한다. 또한, 유체 제트(104)를 통해 그리고 적어도 하나의 광학소자를 통해 공작물(101)로부터 멀리 전파되는 레이저 유도 전자기 복사를 수신하도록 배열되고 수신된 복사(106)를 신호(108)로 변환시키도록 구성된 감지 유닛(107)을 포함한다. 기기(100, 200, 300, 700)는 또한 신호(108)에 기초하여 공작물(101)을 기계가공하는 상태를 결정하도록 구성된 신호 처리 유닛(109)을 포함한다. The invention relates to an apparatus 100, 200, 300 and a method 400 for machining a workpiece 101 with a laser beam 102. The apparatus 100, 200, 300 comprises a machining unit 103 configured to provide a pressurized fluid jet 104 onto the workpiece 101 and to couple the laser beam 102 through at least one optical element 105 into the fluid jet 104 towards the workpiece 101. Further, it comprises a sensing unit 107 arranged to receive a laser-induced electromagnetic radiation 106 propagating away from the workpiece 101 through the fluid jet 104 and through at least one optical element, and configured to convert the received radiation 106 into a signal 108. The apparatus 100, 200, 300 also comprises a signal processing unit 109 configured to determine a state of machining the workpiece 101 based on the signal 108.