기판 검사 장치, 검사 위치 보정 방법, 위치 보정 정보 생성 방법, 및 위치 보정 정보 생성 시스템

기판 검사 장치(1)는, 복수의 프로브 U, D를 보유 지지하는 검사 지그(3)와, 복수의 프로브 U, D를 기판의 면에 접촉시키는 구동 기구(801)와, 각 프로브 U, D의 도통 상태의 조합 패턴을 복수 패턴 포함하고, 검사 지그(3)의 어긋남을 나타내는 어긋남 정보와 각 조합 패턴이 대응지어진 위치 보정 정보를 미리 기억하는 기억부(86)와, 소정의 검사 위치로 검사 지그(3)를 이동시키고, 당해 검사 위치에서 각 프로브 U, D를 기판에 접촉시켜 각 프로브 U, D의 도통 상태를 검출하는 도통 상태 검출부(82)와, 검출된...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MIURA HIROTSUNA, TOYODA MASAKI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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