Dry Texturing Apparatus for Alkali SDR Surface of Crystalloid Solar Cell using Atmospheric Plasma

본 발명은 결정질 태양전지 드라이 텍스처링 장치에 관한 것으로서, 특히 대기압 플라즈마 이용으로 습식 텍스처링 공정을 삭제할 수 있으면서도 습식 장비와의 결합이 용이하고 이온 전달의 정밀 제어에 유리하며 전면 반사율이 저감되어 광전변환 효율이 증대되는 대기압 플라즈마를 이용한 결정질 태양전지 알칼리 SDR 표면용 드라이 텍스처링 장치에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 결정질 태양전지용 웨이퍼의 알칼리 SDR 표면을 텍스처링 하는 장치에 있어서, Ag/Pd 메탈 전극이 프린팅된 제1 유전체; 상기 제1 유전체와 접착되고 파워 라인이 메탈 전극과 접속되는 제2 유전체; 및 상기 제1 유전체와 제2 유전체를 커버하며 상부와 측면에 가스 라인이 연결되는 가스 공급구가 구비되고 하부에 웨이퍼의 공급방향과 직각방향으로 간격을 두고 여러 개의 가스 배출홀이 배치되는 그라운드 하우징; 이 구성되는 대기압 플라즈마 발생모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마를 이용한 결정질 태양전지 알칼리 SDR 표면용 드라이 텍스처링 장치를 제공한다.