광 발생 장치, 광 발생 장치를 구비하는 노광 장치, 노광 시스템, 광 발생 방법, 및 노광 포토 레지스트 제조 방법

본 발명은, 도너츠 형상 강도 분포를 갖는 광 와류의 코어 직경 d를 암선으로서 이용하여, 미세 가공이 가능한 레이저 묘화 노광법에 사용할 수 있는 광을 발생시키는 광 발생 장치 및 광 발생 방법, 그리고 그 장치 및 방법을 사용한 노광 방법 및 장치를 제공한다. 본 발명은, 서로 상이한 토폴로지컬 차지를 갖는 복수의 광 와류를 간섭시켜 얻어지는 광을 발생시키는 광 발생 장치 및 광 발생 방법, 그리고 그 장치 및 방법을 사용한 노광 방법 및 장치를 제공한다. The present invention provides: a light...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HIZATSUKI TAKUYA, SAKAMOTO MORITSUGU, KAWATSUKI NOBUHIRO, GOTO KOHEI, TSUTSUI KIMIAKI, ONO HIROSHI, NODA KOHEI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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