광 발생 장치, 광 발생 장치를 구비하는 노광 장치, 노광 시스템, 광 발생 방법, 및 노광 포토 레지스트 제조 방법

본 발명은, 도너츠 형상 강도 분포를 갖는 광 와류의 코어 직경 d를 암선으로서 이용하여, 미세 가공이 가능한 레이저 묘화 노광법에 사용할 수 있는 광을 발생시키는 광 발생 장치 및 광 발생 방법, 그리고 그 장치 및 방법을 사용한 노광 방법 및 장치를 제공한다. 본 발명은, 서로 상이한 토폴로지컬 차지를 갖는 복수의 광 와류를 간섭시켜 얻어지는 광을 발생시키는 광 발생 장치 및 광 발생 방법, 그리고 그 장치 및 방법을 사용한 노광 방법 및 장치를 제공한다. The present invention provides: a light generation device and light generation method for generating light that can be used in a laser rendering exposure method that uses the core diameter dv of an optical vortex that has a donut-shaped intensity distribution as a dark line to make it possible to perform fine processing; and an exposure method and device that use the light generation device and method. The present invention also provides: a light generation device and light generation method for generating light that is obtained by making a plurality of optical vortexes that have different topological charges interfere; and an exposure method and device that used the light generation device and method.