Wafer cassette packing apparatus

The present invention relates to a wafer cassette packing apparatus for maintaining uniform and precise packing quality regardless of workers. The present invention provides the wafer cassette packing apparatus comprising: a loading unit on which a wafer cassette is loaded; an accessory inspection unit checking a recipe attached to the wafer cassette and inspecting an accessory of the wafer cassette; a first label attachment unit attaching a first label to the wafer cassette on which accessory inspection has been completed; a primary film packing unit receiving a primary film according to the recipe and packing the wafer cassette; a secondary film packing unit receiving a secondary film according to the recipe and secondarily packing the wafer cassette; a second label attaching unit attaching a second label to the packed secondary film; and an unloading unit discharging the wafer cassette on which packing is completed. 본 발명은 웨이퍼 카세트가 로딩되는 로딩부; 상기 웨이퍼 카세트에 부착된 레시피를 확인하고, 웨이퍼 카세트의 액세서리를 검사하는 액세서리 검사부; 액세서리 검사가 완료된 웨이퍼 카세트에 제1 라벨을 부착하는 제1 라벨 부착부; 상기 레시피에 따른 1차 필름을 공급받아서 상기 웨이퍼 카세트를 패킹하는 1차 필름 패킹부; 상기 레시피에 따른 2차 필름을 공급받아서 웨이퍼 카세트를 2차 패킹하는 2차 필름 패킹부; 패킹된 2차 필름에 제2 라벨을 부착하는 제2 라벨 부착부; 및 포장이 완료된 웨이퍼 카세트를 배출하는 언로딩부;를 포함하는, 웨이퍼 카세트의 포장 장치를 제공한다.