에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법

에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법

기판 프로세싱 시스템의 에지 링의 높이를 조정하기 위한 제어기가 에지 링의 하나 이상의 부식 레이트들을 나타내는 적어도 하나의 입력을 수신하고, 적어도 하나의 입력에 기반하여 에지 링의 적어도 하나의 부식 레이트를 계산하고, 그리고 적어도 하나의 부식 레이트에 기반하여 에지 링의 부식의 양을 계산하도록 구성된, 에지 링 마모 계산 모듈을 포함한다. 액추에이터 제어 모듈이 에지 링 마모 계산 모듈에 의해 계산된 부식의 양에 기반하여 에지 링의 높이를 조정하도록 구성된다. A method for adjusting a height of...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KAMP TOM A, LEAL VERDUGO CARLOS
Format: Patent
Sprache:kor
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator KAMP TOM A
LEAL VERDUGO CARLOS
description 기판 프로세싱 시스템의 에지 링의 높이를 조정하기 위한 제어기가 에지 링의 하나 이상의 부식 레이트들을 나타내는 적어도 하나의 입력을 수신하고, 적어도 하나의 입력에 기반하여 에지 링의 적어도 하나의 부식 레이트를 계산하고, 그리고 적어도 하나의 부식 레이트에 기반하여 에지 링의 부식의 양을 계산하도록 구성된, 에지 링 마모 계산 모듈을 포함한다. 액추에이터 제어 모듈이 에지 링 마모 계산 모듈에 의해 계산된 부식의 양에 기반하여 에지 링의 높이를 조정하도록 구성된다. A method for adjusting a height of an edge ring arranged around an outer portion of a substrate support includes receiving at least one input indicative of one or more erosion rates of the edge ring. The at least one input includes a plurality of erosion rates for respective usage periods of a substrate processing system. The method further includes determining at least one erosion rate of the edge ring using the plurality of erosion rates for the respective usage periods, monitoring an overall usage of the edge ring and storing the overall usage of the edge ring in a memory, calculating an amount of erosion of the edge ring based on the determined at least one erosion rate and the overall usage of the edge ring, and adjusting the height of the edge ring based on the calculated amount of erosion to compensate for the calculated amount of erosion.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_KR20200086375A</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>KR20200086375A</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_KR20200086375A3</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZPB5M33Cm-UNCq-XNwJxx-tVKxReb97yprlRQaM8NbFIITk_tyA1rzixJDM_T1PhzdwWhTdzWt5OnaPwpnvOm64lb1vnKLze0A_EK19vmsrDwJqWmFOcyguluRmU3VxDnD10Uwvy41OLCxKTU_NSS-K9g4wMjAwMDCzMjM1NHY2JUwUASspERQ</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법</title><source>esp@cenet</source><creator>KAMP TOM A ; LEAL VERDUGO CARLOS</creator><creatorcontrib>KAMP TOM A ; LEAL VERDUGO CARLOS</creatorcontrib><description>기판 프로세싱 시스템의 에지 링의 높이를 조정하기 위한 제어기가 에지 링의 하나 이상의 부식 레이트들을 나타내는 적어도 하나의 입력을 수신하고, 적어도 하나의 입력에 기반하여 에지 링의 적어도 하나의 부식 레이트를 계산하고, 그리고 적어도 하나의 부식 레이트에 기반하여 에지 링의 부식의 양을 계산하도록 구성된, 에지 링 마모 계산 모듈을 포함한다. 액추에이터 제어 모듈이 에지 링 마모 계산 모듈에 의해 계산된 부식의 양에 기반하여 에지 링의 높이를 조정하도록 구성된다. A method for adjusting a height of an edge ring arranged around an outer portion of a substrate support includes receiving at least one input indicative of one or more erosion rates of the edge ring. The at least one input includes a plurality of erosion rates for respective usage periods of a substrate processing system. The method further includes determining at least one erosion rate of the edge ring using the plurality of erosion rates for the respective usage periods, monitoring an overall usage of the edge ring and storing the overall usage of the edge ring in a memory, calculating an amount of erosion of the edge ring based on the determined at least one erosion rate and the overall usage of the edge ring, and adjusting the height of the edge ring based on the calculated amount of erosion to compensate for the calculated amount of erosion.</description><language>kor</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2020</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20200716&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20200086375A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25562,76317</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20200716&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20200086375A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>KAMP TOM A</creatorcontrib><creatorcontrib>LEAL VERDUGO CARLOS</creatorcontrib><title>에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법</title><description>기판 프로세싱 시스템의 에지 링의 높이를 조정하기 위한 제어기가 에지 링의 하나 이상의 부식 레이트들을 나타내는 적어도 하나의 입력을 수신하고, 적어도 하나의 입력에 기반하여 에지 링의 적어도 하나의 부식 레이트를 계산하고, 그리고 적어도 하나의 부식 레이트에 기반하여 에지 링의 부식의 양을 계산하도록 구성된, 에지 링 마모 계산 모듈을 포함한다. 액추에이터 제어 모듈이 에지 링 마모 계산 모듈에 의해 계산된 부식의 양에 기반하여 에지 링의 높이를 조정하도록 구성된다. A method for adjusting a height of an edge ring arranged around an outer portion of a substrate support includes receiving at least one input indicative of one or more erosion rates of the edge ring. The at least one input includes a plurality of erosion rates for respective usage periods of a substrate processing system. The method further includes determining at least one erosion rate of the edge ring using the plurality of erosion rates for the respective usage periods, monitoring an overall usage of the edge ring and storing the overall usage of the edge ring in a memory, calculating an amount of erosion of the edge ring based on the determined at least one erosion rate and the overall usage of the edge ring, and adjusting the height of the edge ring based on the calculated amount of erosion to compensate for the calculated amount of erosion.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2020</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZPB5M33Cm-UNCq-XNwJxx-tVKxReb97yprlRQaM8NbFIITk_tyA1rzixJDM_T1PhzdwWhTdzWt5OnaPwpnvOm64lb1vnKLze0A_EK19vmsrDwJqWmFOcyguluRmU3VxDnD10Uwvy41OLCxKTU_NSS-K9g4wMjAwMDCzMjM1NHY2JUwUASspERQ</recordid><startdate>20200716</startdate><enddate>20200716</enddate><creator>KAMP TOM A</creator><creator>LEAL VERDUGO CARLOS</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20200716</creationdate><title>에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법</title><author>KAMP TOM A ; LEAL VERDUGO CARLOS</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_KR20200086375A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>kor</language><creationdate>2020</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>KAMP TOM A</creatorcontrib><creatorcontrib>LEAL VERDUGO CARLOS</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>KAMP TOM A</au><au>LEAL VERDUGO CARLOS</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법</title><date>2020-07-16</date><risdate>2020</risdate><abstract>기판 프로세싱 시스템의 에지 링의 높이를 조정하기 위한 제어기가 에지 링의 하나 이상의 부식 레이트들을 나타내는 적어도 하나의 입력을 수신하고, 적어도 하나의 입력에 기반하여 에지 링의 적어도 하나의 부식 레이트를 계산하고, 그리고 적어도 하나의 부식 레이트에 기반하여 에지 링의 부식의 양을 계산하도록 구성된, 에지 링 마모 계산 모듈을 포함한다. 액추에이터 제어 모듈이 에지 링 마모 계산 모듈에 의해 계산된 부식의 양에 기반하여 에지 링의 높이를 조정하도록 구성된다. A method for adjusting a height of an edge ring arranged around an outer portion of a substrate support includes receiving at least one input indicative of one or more erosion rates of the edge ring. The at least one input includes a plurality of erosion rates for respective usage periods of a substrate processing system. The method further includes determining at least one erosion rate of the edge ring using the plurality of erosion rates for the respective usage periods, monitoring an overall usage of the edge ring and storing the overall usage of the edge ring in a memory, calculating an amount of erosion of the edge ring based on the determined at least one erosion rate and the overall usage of the edge ring, and adjusting the height of the edge ring based on the calculated amount of erosion to compensate for the calculated amount of erosion.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language kor
recordid cdi_epo_espacenet_KR20200086375A
source esp@cenet
subjects BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
title 에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-09T20%3A53%3A35IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=KAMP%20TOM%20A&rft.date=2020-07-16&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EKR20200086375A%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true