에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법

기판 프로세싱 시스템의 에지 링의 높이를 조정하기 위한 제어기가 에지 링의 하나 이상의 부식 레이트들을 나타내는 적어도 하나의 입력을 수신하고, 적어도 하나의 입력에 기반하여 에지 링의 적어도 하나의 부식 레이트를 계산하고, 그리고 적어도 하나의 부식 레이트에 기반하여 에지 링의 부식의 양을 계산하도록 구성된, 에지 링 마모 계산 모듈을 포함한다. 액추에이터 제어 모듈이 에지 링 마모 계산 모듈에 의해 계산된 부식의 양에 기반하여 에지 링의 높이를 조정하도록 구성된다. A method for adjusting a height of an edge ring arranged around an outer portion of a substrate support includes receiving at least one input indicative of one or more erosion rates of the edge ring. The at least one input includes a plurality of erosion rates for respective usage periods of a substrate processing system. The method further includes determining at least one erosion rate of the edge ring using the plurality of erosion rates for the respective usage periods, monitoring an overall usage of the edge ring and storing the overall usage of the edge ring in a memory, calculating an amount of erosion of the edge ring based on the determined at least one erosion rate and the overall usage of the edge ring, and adjusting the height of the edge ring based on the calculated amount of erosion to compensate for the calculated amount of erosion.