APPARATUS AND METHOD FOR OBSERVING SPECIMEN
본 발명은, 시료를 지지할 수 있는 지지부와 마주보도록 배치되고, 내부에 진공 공간이 형성되며, 지지부를 향하는 일측이 개구되는 컬럼부, 컬럼부의 내부에 설치된 전자빔 발생부, 컬럼부의 개구와 결합되고, 전자빔 및 전자를 통과시킬 수 있는 투과창을 구비하는 커버부, 컬럼부의 내부에 설치되고 커버부와 마주보며, 전자빔 진행 경로를 감싸고, 전자를 증폭시킬 수 있는 증폭부를 포함하는 시료 관찰 장치, 및 이를 이용한 시료 관찰 방법으로서, 대기압 중의 시료를 관찰할 때, 시료로부터 방출되어 컬럼부의 내부에 도달한 전자를 증폭 및 가속시...
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| description | 본 발명은, 시료를 지지할 수 있는 지지부와 마주보도록 배치되고, 내부에 진공 공간이 형성되며, 지지부를 향하는 일측이 개구되는 컬럼부, 컬럼부의 내부에 설치된 전자빔 발생부, 컬럼부의 개구와 결합되고, 전자빔 및 전자를 통과시킬 수 있는 투과창을 구비하는 커버부, 컬럼부의 내부에 설치되고 커버부와 마주보며, 전자빔 진행 경로를 감싸고, 전자를 증폭시킬 수 있는 증폭부를 포함하는 시료 관찰 장치, 및 이를 이용한 시료 관찰 방법으로서, 대기압 중의 시료를 관찰할 때, 시료로부터 방출되어 컬럼부의 내부에 도달한 전자를 증폭 및 가속시킬 수 있고, 전자를 고효율로 수집할 수 있고, 시료 이미지의 해상력을 높일 수 있는 시료 관찰 장치 및 방법이 제시된다. |
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