APPARATUS AND METHOD FOR OBSERVING SPECIMEN

본 발명은, 시료를 지지할 수 있는 지지부와 마주보도록 배치되고, 내부에 진공 공간이 형성되며, 지지부를 향하는 일측이 개구되는 컬럼부, 컬럼부의 내부에 설치된 전자빔 발생부, 컬럼부의 개구와 결합되고, 전자빔 및 전자를 통과시킬 수 있는 투과창을 구비하는 커버부, 컬럼부의 내부에 설치되고 커버부와 마주보며, 전자빔 진행 경로를 감싸고, 전자를 증폭시킬 수 있는 증폭부를 포함하는 시료 관찰 장치, 및 이를 이용한 시료 관찰 방법으로서, 대기압 중의 시료를 관찰할 때, 시료로부터 방출되어 컬럼부의 내부에 도달한 전자를 증폭 및 가속시...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SONG EUN BEOM, YE SE HUI, SEONG MYUNG JUN, YOON SO YOUNG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은, 시료를 지지할 수 있는 지지부와 마주보도록 배치되고, 내부에 진공 공간이 형성되며, 지지부를 향하는 일측이 개구되는 컬럼부, 컬럼부의 내부에 설치된 전자빔 발생부, 컬럼부의 개구와 결합되고, 전자빔 및 전자를 통과시킬 수 있는 투과창을 구비하는 커버부, 컬럼부의 내부에 설치되고 커버부와 마주보며, 전자빔 진행 경로를 감싸고, 전자를 증폭시킬 수 있는 증폭부를 포함하는 시료 관찰 장치, 및 이를 이용한 시료 관찰 방법으로서, 대기압 중의 시료를 관찰할 때, 시료로부터 방출되어 컬럼부의 내부에 도달한 전자를 증폭 및 가속시킬 수 있고, 전자를 고효율로 수집할 수 있고, 시료 이미지의 해상력을 높일 수 있는 시료 관찰 장치 및 방법이 제시된다.