PVT Vessel for growing a single crystal and growing method of single crystal using the vessel
The present invention relates to a single crystal growing vessel for a physical vapor transport (PVT) apparatus, in which a seed crystal is disposed on the upper part of a seed crystal support block disposed in a lower vessel to grow a single crystal and a single crystal growing method using the sam...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | The present invention relates to a single crystal growing vessel for a physical vapor transport (PVT) apparatus, in which a seed crystal is disposed on the upper part of a seed crystal support block disposed in a lower vessel to grow a single crystal and a single crystal growing method using the same. According to the present invention, the single crystal growing vessel comprises: the lower vessel receiving a seed crystal; an upper vessel sealing the upper part of the lower vessel; and the seed crystal support block disposed on the lower side in the lower vessel, having a smaller size than the inner diameter of the lower vessel and having the seed crystal mounted thereon. Accordingly, the seed crystal is disposed on the lower part of the single crystal growing vessel mounted in a growing chamber and a raw material for growing a single crystal is disposed on the upper or side part of the single crystal growing vessel such that the single crystal is grown and inconvenience of attaching the seed crystal to the upper part is removed.
본 발명은, 종자결정을 수용하는 하부 용기와, 상기 하부 용기의 상부를 밀폐하는 상부 용기와, 상기 하부 용기 내의 하측에 위치하고 상기 하부 용기의 내경보다 작게 구비되며 상기 종자결정이 안착되는 종자결정 지지 블록을 포함하며, 상기 하부 용기 내에 위치된 상기 종자결정 지지 블록의 상부에 상기 종자결정을 위치시켜 단결정을 성장시키는 단결정 성장 용기 및 이를 이용한 단결정 성장 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 성장챔버 내에 장착되는 단결정 성장 용기 하부에 종자결정을 위치시키고 상기 단결정 성장 용기의 상부나 측면부에 단결정 성장의 원료를 위치시켜 단결정을 성장시킬 수 있고 종자결정을 상부에 부착해야 하는 번거로움을 없앨 수 있다. |
---|