Apparatus for preventing interference of sensors

센서 간섭 방지 장치는, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 제1 레일과 상기 제1 레일과 합류하는 제2 레일 사이에 배치되며, 상기 제1 레일을 따라 이동하는 제1 비히클에서 다른 비히클과의 거리를 감지하는 거리 센서와 상기 제2 레일을 따라 이동하는 제2 비히클의 거리 센서가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 거리 센서들의 높이와 대응하는 높이에 배치되는 차단판과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일의 합류 지점과 인접하는 상기 차단판의 단부에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 차단...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	AHN SE WOONG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	센서 간섭 방지 장치는, 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 제1 레일과 상기 제1 레일과 합류하는 제2 레일 사이에 배치되며, 상기 제1 레일을 따라 이동하는 제1 비히클에서 다른 비히클과의 거리를 감지하는 거리 센서와 상기 제2 레일을 따라 이동하는 제2 비히클의 거리 센서가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위해 상기 거리 센서들의 높이와 대응하는 높이에 배치되는 차단판과, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일의 합류 지점과 인접하는 상기 차단판의 단부에 이동 가능하도록 구비되며, 상기 차단판의 길이를 연장시키기 위한 연장판 및 상기 차단판의 길이를 연장하도록 상기 연장판을 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.