증기 발생 및 필름 증착 장치 및 방법

콤팩트한 기화기 설계를 가지고 가스 및 액체 혼합물을 낮아진 최고 온도에 노출시켜 증기를 발생하는 장치 및 방법이 제공된다. 기화를 위해 상기 가스 및 액적 혼합물을 가열하도록 구성된 금속 하우징(110)을 통한 가스 및 액적 혼합물 유동은, 상기 가스 및 액적 혼합물을 상기 금속 하우징의 입구(120)로 통과하여, 상기 가스가 기화를 위해 중심 축 주위로 배열된 복수의 튜브형 유동 통로들(180)로 규정되는 구불구불한 유동 경로를 통해 유동하도록 안내하는 것을 포함한다. 상기 유동 경로는 상술한 추가 구불구불한 유동 경로로 유입되기 전에 유동 경로의 방향에 있어서 1회 이상 변화하면서 열 교환기(410)를 통과하도록 안내된다. 잔류 액적들은 상기 제1 금속 하우징과 유사한 구조를 갖고 제2의 구불구불한 유동 경로를 제공하며 기화를 위해 상기 가스 및 액적 혼합물을 가열하도록 구성된 제2 금속 하우징을 통해 유동함으로써 더 기화될 수 있다. An apparatus and method for generating a vapor with a compact vaporizer design and exposing the gas and liquid mixture for vaporization to a reduced maximum temperature. A gas and liquid droplet flow through a metal housing (110) configured to heat the gas and liquid droplet mixture flow for vaporization includes directing the gas and liquid droplet mixture through an inlet (120) of the metal housing and flowing the gas through a tortious flow path defined by a plurality of tubular flow passageways (180) arranged around a central axis for vaporization. The flow path is directed through a heat exchanger (410) including one more changes in direction of flow path before flowing into the further tortious flow path described above. Residual liquid droplets may be further vaporized by flowing through a second metal housing configured to heat the gas and liquid droplet mixture for vaporization and having a similar construction to the first metal housing and providing a second tortious flow path.