Apparatus for picking up semiconductor devices and method of controlling operations of the same

Disclosed are a semiconductor device pickup apparatus and an operation control method thereof. The apparatus comprises: a vacuum picker for picking up a semiconductor device; a vertical driving unit for moving the vacuum picker in a vertical direction; a load sensor disposed at the lower part of the vacuum picker and measuring a load applied by the vacuum picker lowered by the vertical driving unit; and a control unit monitoring a driving current of the vertical driving unit and the load measured by the load sensor, and setting, as a reference value for motion control of the vacuum picker, the driving current of the vertical driving unit corresponding to a temporal point when the load measured by the load sensor arrives at a preset load. The present invention can prevent damage to the semiconductor device. 반도체 소자 픽업 장치와 이의 동작 제어 방법이 개시된다. 상기 장치는 반도체 소자를 픽업하기 위한 진공 피커와, 상기 진공 피커를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 진공 피커의 하부에 배치되며 상기 수직 구동부에 의해 하강되는 상기 진공 피커에 의해 가해지는 하중을 측정하기 위한 하중 센서와, 상기 수직 구동부의 구동 전류와 상기 하중 센서에 의해 측정되는 하중을 모니터링하며 상기 하중 센서에 의해 측정된 하중이 기 설정된 하중에 도달되는 시점에 대응하는 상기 수직 구동부의 구동 전류를 상기 진공 피커의 모션 제어를 위한 참조값으로서 설정하는 제어부를 포함한다.