METHOD FOR CENTERING SUBSTRATE

Provided is a method for correcting a position of a rectangular substrate, by using a transport robot which includes a robot arm for gripping the substrate and a first sensor and a second sensor which are provided to face on the transport path, in a process of moving the substrate to a set position along a transport path of the substrate. According to one embodiment of the present invention, the method for correcting the position of the substrate comprises the steps of: moving the substrate to a first position wherein the first sensor starts sensing the substrate on the transport path; allowing the first sensor to measure a first movement trajectory of the substrate as driving the robot hand to one side vertical to the transport path while the substrate is positioned at the first position; moving the substrate to a second position wherein the second sensor starts sensing the substrate on the transport path; allowing the second sensor to measure a second movement trajectory of the substrate as driving the robot hand to the other side opposite to the one side while the substrate is positioned at the second position; comparing the first movement trajectory, the second movement trajectory, and a preset reference trajectory to determine whether the substrate is misaligned; and correcting the misalignment when it is determined that the substrate is misaligned. 본 발명은 기재의 이송 경로를 따라 기재를 설정 위치로 이송시키는 과정에서, 기재를 파지하는 로봇 핸드를 포함하는 반송 로봇; 및 상기 이송 경로 상에 서로 마주보게 제공되는 제1 센서 및 제2 센서를 이용하여 사각형 기재의 위치를 보정하는 방법을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 기재의 위치 보정 방법은, 상기 이송 경로 상에서 상기 제1 센서가 기재의 감지를 개시하는 제1 위치로 이동시키는 단계; 기재가 상기 제1 위치에 위치된 상태에서 상기 로봇 핸드를 상기 이송 경로와 수직한 일측으로 구동시키며 상기 제1 센서가 기재의 제1 이동 궤적을 측정하는 단계; 기재를 상기 이송 경로 상에서 상기 제2 센서가 기재의 감지를 개시하는 제2 위치로 이동시키는 단계; 기재가 상기 제2 위치에 위치된 상태에서 상기 로봇 핸드를 상기 일측의 타측으로 구동시키며 상기 제2 센서가 기재의 제2 이동 궤적을 측정하는 단계; 상기 제1 이동 궤적, 상기 제2 이동 궤적 및 기 설정된 기준 궤적을 비교하여 기재의 틀어짐을 판정하는 단계; 및 기재의 틀어짐이 발생된 것으로 판단되는 경우 틀어짐을 보정하는 단계를 포함한다.