Loader for wafer prober being capable of storing wafers

The present invention relates to a wafer prober loader capable of temporarily storing a plurality of wafers. The wafer prober loader is mounted with a buffer tray capable of temporarily storing a plurality of wafers by stacking the same on one side surface of a robot arm support having a robot arm mounted thereon, primarily transports the wafers to be inspected to the buffer tray from a cassette to load and move the same with the robot arm, or can temporarily store the wafers collected from wafer probers. Therefore, the wafer prober loader of the present invention can continuously provide the wafers for the wafer probers or can pick up the wafers without frequent transfer processes to the cassette, thereby reducing the number of times of travelling and transport time between the cassette and the wafer probers for wafer transport. 본 발명은 복수 개의 웨이퍼를 임시 보관할 수 있도록 구성된 웨이퍼 프로버용 로더에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 프로버용 로더는 로봇암이 탑재된 로봇암 지지대의 일측면에 다수 개의 웨이퍼를 적재하여 임시 보관할 수 있는 버퍼 트레이를 장착하고, 상기 버퍼 트레이에 검사할 다수 개의 웨이퍼들을 카세트로부터 1차로 이송시켜 적재하여 로봇암과 함께 이동시키거나, 웨이퍼 프로버들로부터 회수한 다수 개의 웨이퍼들을 임시 보관할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버용 로더는, 카세트로의 빈번한 이동 과정없이, 복수 개의 웨이퍼 프로버들에 연속적으로 웨이퍼를 제공하거나 웨이퍼를 픽업할 수 있게 되며, 그 결과 웨이퍼 이송을 위한 카세트와 웨이퍼 프로버간의 주행 횟수와 이송 시간을 감소시킬 수 있게 된다.