PEDESTAL WITH MULTI-ZONE TEMPERATURE CONTROL AND MULTIPLE PURGE CAPABILITIES

반도체 프로세싱 장치용 기판 지지 조립체들이 설명된다. 조립체들은 페데스탈 및 페데스탈에 커플링된 스템을 포함할 수 있다. 페데스탈은, 독립적으로 제어되는 온도들을 갖는 다중 영역들을 제공하도록 구성될 수 있다. 각각의 영역은, 스템 내의 내부 채널들로부터 수용되고 그리고 내부 채널들로 전달되는 온도 제어된 유체를 순환시킴으로써, 영역 내에 실질적으로 균일한 온도 제어를 제공하기 위한 유체 채널을 포함할 수 있다. 유체 채널들은 역평행(parallel-reverse) 유체 배열로 구성된 다중 부분들을 포함할 수 있다. 페데스탈은 또...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TAM ALEXANDER, TAM ELISHA, CHEN XINGLONG, YANG JANG GYOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HEAT EXCHANGE IN GENERAL HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS,IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING SEMICONDUCTOR DEVICES WEAPONS
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