모터, 이중 행정 스테이지 및 리소그래피 장치

본 발명은 모터(LD)에 관한 것으로, 이 모터는, 다상을 갖는 코일 어셈블리 열(UCA, LCA)을 포함하는 고정부(STP), 영구 자석 열(UPM, LPM)을 포함하는 가동부(MP)(코일 어셈블리 열은 제 1 길이를 가지며 영구 자석 열은 제 2 길이를 가지며, 제 2 길이는 제 1 길이 보다 작고, 코일 어셈블리는 이 코일 어셈블리와 정렬되어 있는 영구 자석과 상호 작용하여 구동력을 발생시킴), 가동부의 실제 위치를 나타내는 위치 측정 신호를 가동부의 요구되는 위치를 나타내는 설정점 신호와 비교하여 에러 신호를 제공하는 비교기...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	VRENKEN RUUD HUBERTUS SILVESTER, VAN DUIVENBODE JEROEN, HEIJMANS PETER MICHEL SILVESTER MARIA, BOLDER JOOST JOHAN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORSOR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER DYNAMO-ELECTRIC MACHINES ELECTRICITY ELECTROGRAPHY GENERATION HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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