모터, 이중 행정 스테이지 및 리소그래피 장치

본 발명은 모터(LD)에 관한 것으로, 이 모터는, 다상을 갖는 코일 어셈블리 열(UCA, LCA)을 포함하는 고정부(STP), 영구 자석 열(UPM, LPM)을 포함하는 가동부(MP)(코일 어셈블리 열은 제 1 길이를 가지며 영구 자석 열은 제 2 길이를 가지며, 제 2 길이는 제 1 길이 보다 작고, 코일 어셈블리는 이 코일 어셈블리와 정렬되어 있는 영구 자석과 상호 작용하여 구동력을 발생시킴), 가동부의 실제 위치를 나타내는 위치 측정 신호를 가동부의 요구되는 위치를 나타내는 설정점 신호와 비교하여 에러 신호를 제공하는 비교기, 에러 신호에 근거하여 제어 신호를 제공하도록 구성된 동작 피드백 제어기, 및 제어 신호에 근거하여 작동 신호를 코일 어셈블리에 제공하도록 구성된 적어도 하나의 전류 증폭기를 포함하고, 모터는 피드포워드 장치를 포함하고, 피드포워드 장치는 설정점 신호 또는 그의 도함수에 근거하여 전류 증폭기 피드포워드 신호를 제공하도록 구성되어 있고, 전류 증폭기 피드포워드 신호는 적어도 하나의 전류 증폭기에 제공되어, 하나 이상의 코일 어셈블리가 영구 자석과 부분적으로만 정렬됨으로 인해 코일 어셈블리 중의 하나 이상에 작용하는 불균형한 역기전력을 보상한다. The invention relates to a motor (LD) comprising: a stationary part (STP), comprising: a row of coil assemblies (UCA,LCA), the coil assemblies having multiple phases, a movable part (MP), comprising: a row of permanent magnets (UPM,LPM), wherein the row of coil assemblies has a first length and the row of permanent magnets has a second length, wherein the second length is smaller than the first length, wherein the coil assemblies are arranged to interact with permanent magnets aligned with the coil assemblies to generate a driving force, a comparator to compare a position measurement signal representative for an actual position of the movable part with a set-point signal representative for a desired position of the movable part to provide an error signal; a motion feedback controller configured to provide a control signal on the basis of the error signal; at least one current amplifier configured to provide an actuation signal to the coil assemblies on the basis of the control signal, wherein the motor comprises a feedforward device, wherein the feedforward device is configured to provide a current amplifier feedforward signal on the basis of the set-point signal, or a derivative thereof, wherein the current amplifier feedforward signal is provided to the at least one current amplifier to compensate for unbalanced back electromotive forces on one or more of the coil assemblies due to the one or more coil assemblies being only partly aligned with the permanent magnets.