Dry type cleaning apparatus for deposition mask through sublimation and method for the same

The present invention is to provide a method and an apparatus for cleaning a deposition mask used in production of an organic light emitting display device at low costs without the concernment for environmental pollution. To this end, provided is a dry cleaning apparatus (1000) for a deposition mask through sublimation, comprising: a sublimation cleaning pipe (80) using a sublimation purification pipe used for sublimation purification; a sublimation heater (500) installed around the sublimation cleaning pipe (80); and a support (90) which is arranged inside the sublimation cleaning pipe (80) to correspond to the sublimation heater (500) and on which a deposition mask (10) with an organic material (14) deposited thereon is placed. 본 발명은 승화정제에 사용되는 관인 승화정제관이 사용되는 것인 승화세정관(80)과; 상기 승화세정관(80)의 주위에 설치된 승화용 히터(500)와; 상기 승화세정관(80)의 내부에서 상기 승화용 히터(500)에 대응된 위치에 배치되는 것으로서, 유기물질(14)이 퇴적된 증착마스크(10)가 놓이는 지지대(90)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 승화를 통한 증착마스크의 건식세정장치(1000)를 제공한다.