유량 제어 장치

제조 비용을 억제하여, 설정이나 관리의 부담을 대폭으로 경감하는 것이 가능한 유량 제어 장치를 제공한다. 유량 제어 장치(11)는, 유로(13)에 설치되는 유량 조절 밸브(21)와, 유로(13)를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량 측정부(41)와, 유량 측정부(41)의 측정 결과에 기초하여 유량 조절 밸브(21)의 개방도를 제어하는 제어부(61)를 구비하고, 유량 조절 밸브(21)의 개방도를 검지하는 리미트 센서(개방도 검지 센서)(246)가 완전 개방을 검지한 시점에서 압력 부족을 검지하는 압력 부족 검지 기능을 가지고 있다. 그 때문에, 유량 저하에 의한 이상이 발생하기 전에 압력 부족을 빠른 단계에서 필요한 시기에 알리는 것이 가능해진다. A flow rate control device 11 of the invention is comprised with a flow rate adjusting valve 21 that is installed in a flow path 13, a flow rate measurement part 41 that measures a flow rate of a fluid flowing through the flow path 13, a controller 61 that controls opening degrees of the flow rate adjusting valve 21 based on a measurement result of the flow rate measurement part 41, and a pressure deficiency detecting function that detects pressure deficiency when a limit sensor 246 (an opening detecting sensor) that detects the opening of the flow rate adjusting valve 21 detects the opening degrees are full. With the structure, it becomes possible, compared with a conventional system to detect a pressure deficiency using a pressure sensor, to suppress a manufacturing cost and greatly reduce burdens of setting and maintenance and to notify of pressure deficiency at a necessary timing in an early stage before an abnormality occurs due to a flow rate decrease.