광학 도파관 제작에 대한 방법

(a) (i) 에폭시 및 알케닐 기를 포함하는 폴리실록산, 및 (ii) 에폭시 기를 포함하고 1000 이하의 분자량과 적어도 1.47의 굴절률을 갖는 화합물 및 (iii) 광 산 발생제; 및 (iv) 하이드로실릴화 촉매를 포함하는 제1 조성물을 침착하는 단계 (b) 상기 제1 조성물을 자외선에 노출함에 의해 경화하는 단계; (c) 상기 제1 조성물의 미경화된 부분 중 적어도 일부분을 제거하여 최종 패턴화된 코어 층을 생성하는 단계; (d) 상기 최종 패턴화된 코어 층 상에 (i) 에폭시 기 및 알케닐 기를 포함하는 폴리실록산, 및...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HYER MAYNARD G, SU KAI, SWATOWSKI BRANDON W, WEIDNER WILLIAM K
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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