기판 장착대
본 발명에 따른 플라즈마 처리 장치용 기판 장착대는: 프레임; 상기 프레임 내의 통공으로서, 플라즈마 처리 장치에 의한 처리를 위하여 기판을 지지하도록 구성된 삽입체를 수용하도록 구성되는, 통공; 상기 삽입체가 교체될 수 있도록 상기 통공 안에 삽입체를 해제가능하게 고정시키도록 구성된, 해제가능 고정 메카니즘(releasable securing mechanism);을 포함한다. A substrate mount for a plasma processing apparatus comprising: a frame; an aperture wi...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명에 따른 플라즈마 처리 장치용 기판 장착대는: 프레임; 상기 프레임 내의 통공으로서, 플라즈마 처리 장치에 의한 처리를 위하여 기판을 지지하도록 구성된 삽입체를 수용하도록 구성되는, 통공; 상기 삽입체가 교체될 수 있도록 상기 통공 안에 삽입체를 해제가능하게 고정시키도록 구성된, 해제가능 고정 메카니즘(releasable securing mechanism);을 포함한다.
A substrate mount for a plasma processing apparatus comprising: a frame; an aperture within the frame, configured to accommodate an insert, the insert being configured to support a substrate for processing by the plasma processing apparatus; a releasable securing mechanism configured to releasably secure the insert within the aperture such that the insert can be replaced. |
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