MOTOR MODULES MULTI-AXIS MOTOR DRIVE ASSEMBLIES MULTI-AXIS ROBOT APPARATUS AND ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS AND METHODS

다중-암 로봇 장치를 위한 모터 모듈들이 설명된다. 모터 모듈들은 개별적으로 사용될 수 있거나, 또는 1-축, 2-축, 3-축, 4-축, 5-축, 6-축 모터 조립체들, 또는 그 초과 축의 조립체들을 구성하기 위해 적층되고 조립될 수 있다. 모터 모듈들 중 하나 또는 그 초과의 모듈은, 스테이터 하우징에 수용된 스테이터를 포함하는 스테이터 조립체, 스테이터 조립체에 인접한 로터 조립체를 포함하고, 로터 조립체는 로터 하우징, 구동 샤프트, 구동 샤프트를 지지하는 베어링 조립체, 및 구동 샤프트에 커플링된 로터를 포함한다. 진공 배리어 부재는 로터와 스테이터 사이에 포지셔닝된다. 다중-축 모터 구동 조립체들, 다중-축 로봇 장치, 전자 디바이스 제조 시스템들, 및 구동 조립체들을 조립하는 방법들이, 수많은 다른 양태들과 같이 설명된다. Motor modules for multi-arm robot apparatus are described. The motor modules can be used individually or stacked and assembled to make up one-axis, 2-axis, 3-axis, 4-axis, 5-axis, 6-axis motor assemblies, or more. One or more of the motor modules have a stator assembly including a stator received in the stator housing, and a rotor assembly abutting the stator assembly, the rotor assembly including a rotor housing, a drive shaft, a bearing assembly supporting the drive shaft, and a rotor coupled to the drive shaft. A vacuum barrier member is positioned between the rotor and the stator. Multi-axis motor drive assemblies, multi-axis robot apparatus, electronic device manufacturing systems, and methods of assembling drive assemblies are described, as are numerous other aspects.