Light Source Unit And Exposure Apparatus Including The Same

The present invention relates to a light source unit comprising: a plurality of light sources which emit a plurality of divergent lights; a plurality of individual condensing elements disposed in front of the plurality of light sources and primarily converging the plurality of divergent lights emitted from the plurality of light sources, respectively; an integrated condensing element disposed in front of the plurality of individual condensing elements, and secondarily converging the plurality of divergent lights transmitted by the plurality of individual condensing elements; and an integrator disposed in front of the integrated light condensing element and uniformly modulating the intensity distribution of the plurality of divergent lights transmitted by the integrated light condensing element. 본 발명은, 다수의 발산광을 방출하는 다수의 광원과; 상기 다수의 광원의 전방에 배치되고, 상기 다수의 광원으로부터 방출되는 상기 다수의 발산광을 각각 1차로 집속하는 다수의 개별집광소자와; 상기 다수의 개별집광소자의 전방에 배치되고, 상기 다수의 개별집광소자에 의하여 전달되는 상기 다수의 발산광을 2차로 집속하는 통합집광소자와; 상기 통합집광소자의 전방에 배치되고, 상기 통합집광소자에 의하여 전달되는 상기 다수의 발산광의 세기 분포를 균일하게 변조하는 인테그레이터를 포함하는 광원유닛을 제공한다.