PROCESS SYSTEM AND SWITCH MODULE USED IN THE SAME

Disclosed are a process system and a switch module used for the same, which can analyze light inside a chamber at multiple locations using the switch module and a single spectrometer. The switch module includes a plurality of connection units, a switch unit, and a drive unit. Here, a first optical fiber is connected to each of the connection units. A second optical fiber is connected to the switch unit, and the switch unit is arranged such that the optical path is aligned with one of the connection units. In accordance with driving of the drive unit, the switch unit moves and the optical path thereof is aligned with another connection unit. The light inputted through the first optical fiber connected to the connection unit of which the optical path is aligned with the switch unit is transmitted to the second optical fiber connected to the switch unit. 스위치 모듈 및 하나의 분광기를 이용하여 여러 위치에서의 챔버 내부의 광을 분석할 수 있는 공정 시스템 및 이에 사용되는 스위치 모듈이 개시된다. 상기 스위치 모듈은 복수의 연결부들, 스위치부 및 구동부를 포함한다. 여기서, 상기 연결부들에는 각기 제 1 광 선로가 연결되고, 상기 스위치부에는 제 2 광 선로가 연결되며, 상기 스위치부는 상기 연결부들 중 하나와 광 경로가 일치하도록 배열되고, 상기 구동부의 구동에 따라 상기 스위치부가 이동하여 다른 연결부와 광 경로가 일치하며, 상기 스위치부와 광 경로가 일치하는 연결부에 연결된 제 1 광 선로를 통하여 입력된 광이 상기 스위치부와 연결된 제 2 광 선로로 전달된다.