기판 처리 장치 및 기판 처리 방법

기판 처리 장치는, 기판(W)의 일면에 유기 재료로 이루어지는 밀착 강화제를 공급하는 밀착 강화부(610)와, 밀착 강화부(610)에 의하여 밀착 강화제가 공급된 기판(W)의 일면에 자외선을 조사하는 조사부(620)와, 조사부(620)에 의하여 자외선이 조사된 기판(W)의 일면에 처리액을 공급함으로써 기판(W)의 일면에 처리막을 형성하는 성막부를 구비한다. 기판 처리 방법은, 밀착 강화부(610)에 의하여 기판(W)의 일면에 유기 재료로 이루어지는 밀착 강화제를 공급하는 단계와, 상기 밀착 강화부(610)에 의하여 상기 밀착 강화제가 공급된 기판(W)의 상기 일면에 자외선을 조사하는 단계와, 상기 조사부(620)에 의하여 자외선이 조사된 기판(W)의 상기 일면에 처리액을 공급함으로써 기판(W)의 상기 일면에 처리막을 형성하는 단계를 포함한다. This substrate processing device is provided with: an adhesion reinforcement unit (610) for supplying an adhesion-reinforcing agent composed of an organic material to one surface of a substrate (W); an irradiation unit (620) for irradiating the one surface of the substrate (W) to which the adhesion-reinforcing agent has been supplied by the adhesion reinforcement unit (610) with ultraviolet rays; and a film-forming unit for forming a processing film on the one surface of the substrate (W) by supplying a processing agent to the one surface of the substrate (W) that has been irradiated with the ultraviolet rays by the irradiation unit (620). This substrate processing method comprises: a step where an adhesion-reinforcing agent composed of an organic material is supplied to one surface of a substrate (W) by an adhesion reinforcement unit (610); a step where the one surface of the substrate (W) where the adhesion-reinforcing agent has been supplied by the adhesion reinforcement unit (610) is irradiated with ultraviolet rays; and a step where a processing film is formed on the one surface of the substrate (W) by supplying a processing agent to the one surface of the substrate (W) that has been irradiated with the ultraviolet rays by the irradiation unit (620).