검사 시스템

검사 시스템은, 피검사체의 전기적 검사를 행하기 위한 테스터와 프로브 카드를 갖는 테스터부가 수용되는 검사실을 복수단 갖는 검사 모듈과, 피검사체와 상기 테스터부의 얼라인먼트를 행하는 얼라이너 모듈과, 상기 얼라이너 모듈을 수용하는 얼라인먼트 에어리어와, 피검사체를 얼라인먼트 에어리어에 반출입하는 로더부를 갖고, 복수의 검사 모듈은, 상기 얼라인먼트 에어리어에 인접하여 마련되어 있다. A testing system includes: an inspection module including a plurality of levels of inspection chambers in each of which a tester part having a tester configured to perform an electrical inspection of an inspection object and a probe card is accommodated; an aligner module configured to align the inspection object with the tester part; an alignment area in which the aligner module is accommodated; and a loader part configured to load the inspection object into the alignment area and unload the inspection object out of the aligner module, wherein the inspection module is located adjacent to the alignment area.