고분해능 표면 입자 탐지기

입자 계수 디바이스는 샘플 표면으로부터 입자를 수용하는 제1 개구부 및 하나 이상의 제2 개구부를 갖는 스캐너 프로브를 포함한다. 펌프는 제1 개구부로부터 흐르는 제1 기류 및 하나 이상의 제2 개구부로 흐르는 제2 기류를 생성한다. 유동 디바이스는 제1 기류를 제3 기류 및 제4 기류로 분할한다. 제1 입자 검출기는 제3 기류 내의 입자를 검출한다. 제1 입자 검출기는 제1 입자 크기 범위 내의 입자를 검출할 수 있다. 제2 입자 검출기는 제4 기류 내의 입자를 검출한다. 제2 입자 검출기는 제1 입자 크기 범위와 상이한 제2 입자 크기 범위 내의 입자를 검출할 수 있다. 제어 회로는 제3 기류의 제1 유량 및 제1 유량보다 큰 제4 기류의 제2 유량을 제공하도록 유동 디바이스 및 펌프를 제어한다. A particle counting device includes a scanner probe having a first opening for receiving particles from a sample surface and second openings. Pumps produce a first airstream flowing from the first opening and a second airstream flowing to the second openings. A flow device splits the first airstream into third and fourth airstreams. A first particle detector detects particles in the third airstream. The first particle detector is capable of detecting particles within a first range of particle sizes. A second particle detector detects particles in the fourth airstream. The second particle detector is capable of detecting particles within a second range of particle sizes different from the first range of particle sizes. Control circuitry controls the flow device and the pumps to provide a first flow rate of the third airstream and a second flow rate of the fourth airstream that is larger than the first flow rate.