SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

An objective of the present invention is to use image data when transporting a substrate and image data when a transport error occurs to perform abnormality analysis. A substrate processing system comprises: a first control means to acquire event data generated when transporting a substrate and alarm data generated when a transport error occurs; a recording means to record a transport operation of a substrate as first image data and record the transport operation of the corresponding substrate as second image data of a higher resolution than that of the corresponding first image data; a second control means to store the first image data recorded by the recording means in a first memory unit based on the event data, and store the second image data recorded by the recording means in a second memory unit based on the alarm data; and an operating unit to at least display the first image data and the second image data. The second control means displays both the first image data and the second image data recorded when the transport error occurs on the same screen. [과제] 기판 반송 시의 화상 데이터와 반송 에러 발생 시의 화상 데이터를 각각 이용하여 이상 해석을 행할 수 있다. [해결 수단] 기판의 반송 시에 발생하는 이벤트 데이터, 및 반송 에러가 생겼을 때에 발생하는 알람 데이터를 취득하는 제1 제어 수단과, 기판의 반송 동작을 제1 화상 데이터로서 기록하면서, 해당 기판의 반송 동작을 해당 제1 화상 데이터보다도 고해상도의 제2 화상 데이터로서 기록하는 기록 수단과, 기록 수단으로 기록한 제1 화상 데이터를 이벤트 데이터에 기초하여 제1 기억부에 기억시킴과 함께, 기록 수단으로 기록한 제2 화상 데이터를 알람 데이터에 기초하여 제2 기억부에 기억시키는 제2 제어 수단과, 제1 화상 데이터와 제2 화상 데이터를 적어도 표시하는 조작부를 구비하고, 제2 제어 수단은, 제1 화상 데이터와, 반송 에러 발생 시에 기록한 제2 화상 데이터의 양쪽을 동일한 화면에 표시한다.