측면 저장 포드들, 장비 전단부 모듈들, 및 기판들을 처리하기 위한 방법들

측면 저장 포드들을 포함하는 전자 디바이스 처리 시스템들이 설명된다. 하나의 전자 디바이스 처리 시스템은, 측면 저장 용기를 수용하도록 구성된 제1 챔버; 패널 개구를 갖는 패널 - 패널은 측면 저장 용기와 장비 전단부 모듈 사이에 결합되도록 구성됨 -; 제1 챔버에 수용된 측면 저장 용기; 및 수용된 측면 저장 용기에 결합되도록 구성되며 제1 챔버의 외부로 연장되는 배기 도관을 갖는 측면 저장 포드를 갖는다. A platform is of a side storage pod. The platform includes an upper surface and kinematic pins extending from the upper surface within a chamber of the side storage pod to engage a lower surface of a side storage container in the chamber to level the side storage container in the chamber.