공기 조절식 표면 파티클 검출기

샘플 표면 상의 파티클을 카운트하는 디바이스로서, 샘플 표면으로부터 파티클을 받아들이는 제1 개구 및 하나 이상의 제2 개구를 가지는 스캐너 프로브, 자신을 통과하는 파티클을 검출하는 파티클 검출기, 자신을 관통해서 흐르는 공기를 조절하는 모듈레이터, 제1 개구로부터 파티클 검출기를 통해 흐르는 제1 기류를 만들어 내고, 모듈레이터를 통해서 하나 이상의 제2 개구로 흐르는 제2 기류를 만들어 내는 펌프, 및 제2 기류의 진폭을 조절하기 위해 모듈레이터를 제어하는 제어 회로를 포함한다. A device for counting part...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BROWNE DAVID, ALSTON WILLIAM W, LUTZ DON
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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