공기 조절식 표면 파티클 검출기

샘플 표면 상의 파티클을 카운트하는 디바이스로서, 샘플 표면으로부터 파티클을 받아들이는 제1 개구 및 하나 이상의 제2 개구를 가지는 스캐너 프로브, 자신을 통과하는 파티클을 검출하는 파티클 검출기, 자신을 관통해서 흐르는 공기를 조절하는 모듈레이터, 제1 개구로부터 파티클 검출기를 통해 흐르는 제1 기류를 만들어 내고, 모듈레이터를 통해서 하나 이상의 제2 개구로 흐르는 제2 기류를 만들어 내는 펌프, 및 제2 기류의 진폭을 조절하기 위해 모듈레이터를 제어하는 제어 회로를 포함한다. A device for counting particles on a sample surface includes a scanner probe having a first opening for receiving particles from a sample surface and one or more second openings, a particle detector for detecting particles passed there-through, a modulator for modulating air flowing there-through, a pump for producing a first airstream flowing from the first opening and through the particle detector, and for producing a second airstream flowing through the modulator and to the one or more second openings, and control circuitry for controlling the modulator to modulate an amplitude of the second airstream.