SUBTRATE INSPECTION SYSTEM MANUFACTURING SYSTEM OF ELECTRONIC DEVICE SUBTRATE INSPECTION METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE

According to the present invention, a substrate inspection system, as a substrate inspection system for inspecting a substrate returned in a first direction, comprises: a container; a substrate support device installed in the container and supporting the substrate; a substrate position information acquiring means for acquiring the substrate position information indicating a position of the substrate; a substrate inspection means for inspecting the substrate; and a driving means for driving at least one of the substrate support device and the substrate inspection means on the basis of the substrate position information. The substrate position information comprises the position information of the substrate in a second direction which intersects with the first direction and is in parallel with the substrate support surface of the substrate support device. Therefore, the present invention is capable of detecting a presence or absence of a crack/breakage of the substrate with higher precision than a conventional substrate inspection system. 본 발명에 따른 기판 검사 시스템은, 제1 방향으로 반송되는 기판을 검사하기 위한 기판 검사 시스템으로서, 용기와, 상기 용기내에 설치되며, 기판을 지지하기 위한 기판 지지기구와, 상기 기판의 위치를 나타내는 기판 위치 정보를 취득하기 위한 기판 위치 정보 취득수단과, 상기 기판을 검사하기 위한 기판 검사수단과, 상기 기판 위치 정보에 기초하여, 상기 기판 지지기구 및 상기 기판 검사수단 중 적어도 하나를 구동하는 구동수단을 포함하며, 상기 기판 위치 정보는, 상기 제1 방향과 교차하며 상기 기판 지지기구의 기판 지지면에 평행한 제2 방향에 있어서의 기판의 위치 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.