LED VERTICAL CYLINDRICAL REACTION CHAMBER FOR MICRO LED EPITAXY AND LINEAR LUMINANT FABRICATION PROCESS

The present invention relates to a vertical cylindrical reaction chamber for epitaxy of a micrometer LED and a manufacturing method of a linear light emitting body. Particularly, in the manufacturing method for molding a molding epitaxial wire of a composition light emitting die of a fine LED, a linear light emitting body mostly performs steps of epitaxy, depositing, etching and the like of the linear light emitting body by using the vertical cylindrical reaction chamber. Therefore, cutting and assembling processes can be performed even if a linear epitaxial body has an ultrafine volume and, also, an effect of increasing a yield can be obtained. 마이크로미터 LED의 에피택셜용 직립 통기둥형 반응챔버 및 선형 발광체의 제조방법, 특히 미세 LED의 조성 발광 다이의 성형 에피택셜 와이어를 성형하는 제조방법은, 주로 선형 발광체가 직립 통기둥형 반응챔버를 이용하여, 선형 발광체의 에피택셜, 증착, 에칭 등 단계를 수행함으로써, 선형체 에피택셜체가 극미세 부피를 가져도 커팅과 조립 공정을 수행할 수 있으며, 이에 더해 수율 향상의 효과를 얻을 수 있는 것을 특징으로 한다.