Laser processing apparatus and method for manufacturing solar cell using the same

According to one aspect of the present invention, a laser processing apparatus capable of reducing or preventing the quality degradation caused by particles comprises: a chuck unit having one surface on which a substrate may be seated and having one or more holes along the edge thereof; a laser beam oscillating unit disposed on top of the chuck unit and irradiating a laser beam onto the substrate; a corner support unit disposed at the chuck unit and supporting at least one corner of the substrate; and a suction unit connected to the chuck unit and sucking the air through the holes. 본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 기판이 안착될 수 있고, 가장자리를 따라 하나 이상의 홀을 갖는 척부와, 상기 척부의 상부에 배치되어 상기 기판 상에 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저빔 발진부와, 상기 척부에 배치되어 상기 기판의 적어도 하나의 코너를 지지하는 코너 지지부와, 상기 척부에 연결되어 상기 하나 이상의 홀들을 통해 공기를 흡입하는 석션부를 구비하는, 레이저 가공 장치가 제공된다.