MICRO LED TRANSFER METHOD AND DISPLAY DEVICE THEREOF

A purpose of the present invention is to provide a micro LED transferring method to increase transferring efficiency by transferring an epitaxial structure forming micro LED in a specific pattern. According to one embodiment of the present invention, the micro LED transferring method includes: a first step of preparing a supporting substrate having one kind of epitaxial structure among red, green, and blue epitaxial structures and an empty carrier substrate; a second step of coating a ultraviolet reaction resin layer on the carrier substrate; a third step of disposing the epitaxial structure of the supporting substrate on the ultraviolet reaction resin layer of the carrier substrate to face each other; a fourth step of irradiating laser onto a boundary between the epitaxial structure and the supporting substrate from the supporting substrate side after bringing the epitaxial structure of the supporting substrate into contact with the ultraviolet reaction resin layer of the carrier substrate; a fifth step of separating the supporting substrate; and a sixth step of transferring the epitaxial structure moved to the carrier substrate to face a target substrate. 본 발명의 목적은 마이크로 엘이디를 형성하는 에피 구조체를 특정 패턴으로 전사하면서 전사 효율을 높이는 마이크로 엘이디 전사 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 엘이디 전사 방법은, 레드(red), 그린(green) 및 블루(blue) 중 한 종류의 에피 구조체를 구비한 지지기판과 빈 캐리어 기판을 준비하는 제1단계, 상기 캐리어 기판에 자외선 반응수지층을 코팅하는 제2단계, 상기 지지기판의 에피 구조체를 상기 캐리어 기판의 자외선 반응수지층에 마주 배치하는 제3단계, 상기 지지기판의 에피 구조체를 상기 캐리어 기판의 자외선 반응수지층에 접촉한 후, 상기 지지기판 측에서 상기 에피 구조체와 상기 지지기판의 경계에 레이저를 조사하는 제4단계, 상기 지지기판을 분리하는 제5단계, 및 상기 캐리어 기판으로 옮겨진 에피 구조체를 타겟 기판에 마주하여 전사하는 제6단계를 포함한다.