MEASURING A HEIGHT PROFILE OF A HOLE FORMED IN NON-CONDUCTIVE REGION

The present invention relates to a system for measuring a hole, a computer program product, and a method. The method can comprise: a step of charging a vicinity of a hole having a nanometer width; a step of acquiring a plurality of electronic images of the hole - each electron image is formed by sensing electrons of an electron energy which exceed an electron energy threshold value associated with the electron image, and the electron energy threshold values associated with different electron images of a plurality of electron images are different from each other -; a step of receiving or generating a mapping between the height values and the electron energy threshold values; a step of processing the plurality of electron images to provide the hole measurements; and a step of generating three-dimensional measurements of the hole based on the mapping and the hole measurements. 본 발명은 홀을 측정하기 위한 시스템, 컴퓨터 프로그램 제품 및 방법에 관한 것이다. 방법은, 나노미터 폭을 갖는 홀의 부근을 대전시키는 단계; 홀의 다수의 전자 이미지들을 획득하는 단계 - 각각의 전자 이미지는 전자 이미지와 연관된 전자 에너지 임계값을 초과하는 전자 에너지의 전자들을 감지함으로써 형성되고; 다수의 전자 이미지들의 상이한 전자 이미지들과 연관된 전자 에너지 임계값들은 서로 상이함 -; 높이 값들과 전자 에너지 임계값들 간의 맵핑을 수신하거나 생성하는 단계; 홀 측정들을 제공하기 위해 다수의 전자 이미지들을 처리하는 단계; 및 맵핑 및 홀 측정들에 기초하여 홀의 3차원 측정들을 생성하는 단계를 포함할 수 있다.