광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력들을 제공하기 위한 필터 어셈블리

검사 시스템에서 이용가능한 스펙트럼 대역들의 개수를 증가시키기 위해 사용될 수 있는 시스템이 제공된다. 이 시스템은 광대역 조명을 방출하도록 구성된 조명 소스를 포함할 수 있다. 이 시스템은 2개 이상의 필터 유닛을 포함하는 필터 어셈블리를 또한 포함할 수 있다. 2개 이상의 필터 유닛은 하나 이상의 다양한 필터링 특성을 갖는 2개 이상의 필터를 포함할 수 있다. 이 시스템은 필터 유닛들의 선택된 필터들을 조명 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된 2개 이상의 모터를 또한 포함할 수 있다. 이 시스템을 사용하면, 검사 시스템에서...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KUMAR JAGADEESH, NESBITT JEREMY, ORAM DAVID C
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS TESTING
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