광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력들을 제공하기 위한 필터 어셈블리

검사 시스템에서 이용가능한 스펙트럼 대역들의 개수를 증가시키기 위해 사용될 수 있는 시스템이 제공된다. 이 시스템은 광대역 조명을 방출하도록 구성된 조명 소스를 포함할 수 있다. 이 시스템은 2개 이상의 필터 유닛을 포함하는 필터 어셈블리를 또한 포함할 수 있다. 2개 이상의 필터 유닛은 하나 이상의 다양한 필터링 특성을 갖는 2개 이상의 필터를 포함할 수 있다. 이 시스템은 필터 유닛들의 선택된 필터들을 조명 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된 2개 이상의 모터를 또한 포함할 수 있다. 이 시스템을 사용하면, 검사 시스템에서 사용될 이용가능한 스펙트럼 대역들의 개수가 증가될 수 있다. A system which may be used to increase the number of available spectrum bands in an inspection system is provided. The system may include an illumination source configured to emit broadband illumination. The system may also include a filter assembly including two or more filter units. The two or more filter units may include two or more filters with one or more varying filtering characteristics. The system may also include two or more motors configured to selectively actuate selected filters of the filter units into the beam of illumination. Using the system, the number of available spectrum bands to be used in an inspection system may be increased.