결함 검출을 위한 동적 케어 영역

리피터 결함들의 검사를 위한 마이크로 케어 영역들을 동적으로 생성하는 2-패스 검사 방법의 시스템 및 방법들이 개시된다. 리피터 결함들의 각각의 위치 주위에 마이크로 케어 영역이 형성될 수 있다. 검사 후에, 마이크로 케어 영역들에서 부가적인 리피터 결함들이 식별될 수 있다. 리피터 결함들의 속성들은 비교될 수 있고, 예상되는 그룹 속성 분포로부터 벗어난 속성들을 가진 임의의 리피터 결함들은 누이상스로서 분류될 수 있다. Systems and methods of a two-pass inspection methodology that...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MURRAY BENJAMIN, GAO LISHENG, SUMAN SHISHIR, BRAUER BJORN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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