결함 검출을 위한 동적 케어 영역

리피터 결함들의 검사를 위한 마이크로 케어 영역들을 동적으로 생성하는 2-패스 검사 방법의 시스템 및 방법들이 개시된다. 리피터 결함들의 각각의 위치 주위에 마이크로 케어 영역이 형성될 수 있다. 검사 후에, 마이크로 케어 영역들에서 부가적인 리피터 결함들이 식별될 수 있다. 리피터 결함들의 속성들은 비교될 수 있고, 예상되는 그룹 속성 분포로부터 벗어난 속성들을 가진 임의의 리피터 결함들은 누이상스로서 분류될 수 있다. Systems and methods of a two-pass inspection methodology that dynamically creates micro care areas for inspection of repeater defects. Micro care areas can be formed around each location of a repeater defect. After inspection, additional repeater defects in the micro care areas can be identified. Attributes of the repeater defects can be compared and any repeater defects with attributes that deviate from an expected group attribute distribution can be classified as nuisance.