확률적 인식형 계측 및 제조

확률적 인식형(stochastically-aware) 계측 시스템은 제조 툴에 통신 가능하게 결합되는 제어기를 포함한다. 제어기는 샘플 상에 제조될 소자의 적어도 하나의 패턴 및 소자의 패턴을 노출시키기 위한 하나 이상의 노출 파라미터를 포함하는 생산 레시피를 수신하고, 생산 레시피에 따라 제조될 때 확률적으로 발생할 것이 예측되는 제조 결함을 포함하여 확률적인 리피터(repeater)에 취약한 소자의 패턴의 후보 관리 영역들을 식별하고, 하나 이상의 확률적 리피터의 하나 이상의 예측된 가능성을 결함 가능성 임계값과 비교함으로써 후보 관리 영역들로부터 하나 이상의 관리 영역을 선택하고, 선택된 공차 내에서 하나 이상의 관리 영역 내의 확률적 리피터를 완화시키기 위해 생산 레시피를 수정하고, 수정된 생산 레시피에 따라 하나 이상의 샘플을 제조 툴에 제조하도록 지시(direct)한다. A system for stochastically-aware metrology includes a controller to be communicatively coupled to a fabrication tool. The controller receives a production recipe including at least a pattern of elements to be fabricated on a sample and one or more exposure parameters for exposing the pattern of elements, identifies candidate care areas of the pattern of elements susceptible to stochastic repeaters including fabrication defects predicted to occur stochastically when fabricated according to the production recipe, selects one or more care areas from the candidate care areas by comparing one or more predicted likelihoods of the one or more stochastic repeaters to a defect likelihood threshold, modifies the production recipe to mitigate the stochastic repeaters within the one or more care areas within a selected tolerance, and directs the fabrication tool to fabricate at least one sample according to the modified production recipe.