X- WAFER ALIGNMENT FOR SMALL-ANGLE X-RAY SCATTEROMETRY

The present invention relates to analysis of an X-ray and, specifically, to a method and a system for measuring the geometry of a semiconductor device using X-ray scatterometry. An X-ray device includes a mount, an X-ray source, a detector, an optical gauge, and a motor. The mount is formed to maintain a flat surface sample having a smooth first side and a second side having a pattern on an opposite side of the first side. The X-ray source is formed to enable a first X-ray beam to face the first side of the sample. The detector is installed on a second side of the sample to accommodate at least a part of the X-ray penetrating the sample and scattered from the pattern. The optical gauge enables a second light radiation beam to face the first side of the sample. So, the optical gauge senses a light radiation beam reflected from the first side of the sample and outputs a signal indicating a position of the sample by corresponding to the sensed light radiation beam. The motor composes an alignment state between the detector and the sample by corresponding to the signal. X-선 장치가 마운트, X-선 방출원, 검출기, 광학 게이지 그리고 모터를 포함하고 있다. 상기 마운트는 매끈한 제1 측면과, 제1 측면의 반대쪽에 있으며 무늬가 형성되어 있는 제2 측면을 가진 평면 샘플을 유지시키도록 구성되어 있다. 상기 X-선 방출원은 제1 X-선 빔을 상기 샘플의 제1 측면쪽으로 향하게 하도록 구성되어 있다. 상기 검출기는 상기 샘플을 통하여 투과되고 상기 무늬로부터 산란된 X-선의 적어도 일부분을 수용하기 위해서 상기 샘플의 제2 측면에 위치되어 있다. 상기 광학 게이지는 제2 광 방사선 빔을 상기 샘플의 제1 측면쪽으로 향하게 하여, 상기 샘플의 제1 측면으로부터 반사된 광 방사선을 감지하고, 감지된 광 방사선에 대응하여, 상기 샘플의 위치를 나타내는 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 상기 모터는 상기 신호에 대응하여 상기 검출기와 상기 샘플 사이의 정렬상태를 조정하도록 구성되어 있다.