TEST APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESS AND EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR PROCESS

An test apparatus of a semiconductor process according to an embodiment of the present invention includes a transfer device for transferring a process object between a plurality of chambers, a line camera located in the upper portion of the transfer device, photographing the process object transferred by the transfer device and generating an original image, and a control device for receiving the original image, correcting the distortion of the original image due to the change in the speed of the transfer device, and testing the process object. While the process object is being transported by the transfer device, the process object can be photographed and tested. 본 발명의 실시 형태에 따른 반도체 공정의 검사 장치는, 복수의 챔버들 사이에서 공정 대상을 이송하는 이송 장치, 상기 이송 장치의 상부에 위치하며, 상기 이송 장치가 이송하는 상기 공정 대상을 촬영하여 원본 이미지를 생성하는 라인 카메라, 및 상기 원본 이미지를 수신하며, 상기 이송 장치의 속도 변화에 의한 상기 원본 이미지의 왜곡을 보정하여 상기 공정 대상에 대한 검사를 진행하는 제어 장치를 포함한다.