검사 시스템

검사 시스템(100)은, 스테이지 상의 기판에 형성된 디바이스에 프로브 카드의 프로브를 접촉시키는 복수의 프로버부(10)와, 프로브 카드를 통해서 기판 상의 복수의 디바이스에 전기적 신호를 주어, 디바이스의 전기 특성을 검사하는 테스터를 갖는다. 복수의 프로버부(10)는, 각 프로버부(10)가 다단으로 포개어 쌓인 유닛이, 횡 방향으로 복수 배열된 상태로 배치되고, 테스터의 주요부를 구성하는 테스트 유닛(20)이 복수의 프로버부(10) 중 소정의 프로버부(10)의 측방에 배치되어 있다. An inspection system includes a plurality of prober units each configured to bring probes of a probe card into contact with devices formed on a substrate on a stage, and a tester configured to apply electrical signals to the devices on the substrate through the probe card to inspect electrical characteristics of the devices. The plurality of prober units are arranged such that a plurality of units each of which has the prober units stacked in multiple stages are arranged in multiple rows in a horizontal direction, and at least one test unit constituting a main part of the tester is arranged to a side of a predetermined prober unit among the plurality of prober units.