MANUFACTURING METHOD OF METAL PARTICLE

The present invention provides a method of manufacturing Cu particles having high sphericity with high mass production by a UDS method. The method of manufacturing spherical metal particles comprises: a process a of manufacturing molten metal materials by melting metal materials consisting of Cu and microelements, having a mass ratio of Cu by GDMS analysis exceeding 99.995%, and allowing the microelements to include one or more among Si, Al, and Ca in a crucible (17); a process b of applying a pressure of 0.05-1 MPa into the crucible, and dropping the melting metal materials from an orifice (12a) having a center axis arranged in a vertical direction and a diameter of 5-1,000 μm to manufacture molten metal droplets (1); and a process c of quenching and solidifying the molten metal droplets under an atmosphere where an oxygen concentration is lower than or equal to 1,000 ppm in a volume ratio. The orifice (12a) is installed on an orifice plate (12) made of artificial monocrystal diamond. (과제) UDS법에 의해 높은 진구도를 갖는 Cu입자를 높은 양산성으로 제조하는 방법을 제공한다. (해결수단) 구상의 금속입자를 제조하는 방법으로서, Cu와 미량 원소로 구성되고, GDMS 분석에 의한 Cu의 질량비율이 99.995%를 초과하고, 미량 원소가 Si, Al 또는 Ca 중 1종 이상을 포함하는 금속재료를 도가니(17) 내에서 용융해서 용융 금속 재료를 제작하는 공정 a와, 도가니 내에 0.05㎫ 이상 1.0㎫ 이하의 압력을 가하고, 중심축이 연직방향으로 배치되고, 직경이 5㎛ 이상 1000㎛ 이하인 오리피스(12a)로부터 용융 금속 재료를 적하해서 용융 금속 액적(1)을 제작하는 공정 b와, 용융 금속 액적을 산소농도가 체적 비율로 1000ppm 이하인 분위기 하에서 급냉 응고시키는 공정 c를 포함하고, 오리피스(12a)는 인공 단결정 다이아몬드로 형성된 오리피스판(12)에 설치되어 있다.