VALVE ASSEMBLIES AND FLUID STORAGE AND DISPENSING PACKAGES COMPRISING SAME

반도체 제조용 유체와 같은 유체를 분배하기 위해서 그러한 유체 분배 조립체가 유체 공급 용기에 커플링되는 유체 공급 패키지에 사용하기 위한 유체 분배 조립체가 개시된다. 유체 분배 조립체는 특정 실시예에서 유체 분배 조립체 내의 밸브 요소에 과도한 힘을 가하는 것을 방지하고/하거나 독성 아니면 유해하거나 유용한 가스의 누출을 초래할 수 있는 부주의한 또는 우발적인 용기의 개방 상태를 예방하도록 구성된다. 또한, 커플링 요소, 예를 들어 전술한 유형의 유체 공급 패키지의 커플링 요소의 커플링을 도움으로써, 오정렬의 결과로 인한 그러한 커플링에 대한 손상이 예방되는 정렬 장치가 개시된다. Fluid dispensing assemblies are disclosed, for use in fluid supply packages in which such fluid dispensing assemblies as coupled to fluid supply vessels, for dispensing of fluids such as semiconductor manufacturing fluids. The fluid dispensing assemblies in specific implementations are configured to prevent application of excessive force to valve elements in the fluid dispensing assemblies, and/or for avoiding inadvertent or accidental open conditions of vessels that may result in leakage of toxic or otherwise hazardous or valuable gas. Also described are alignment devices for assisting coupling of coupling elements, e.g., coupling elements of fluid supply packages of the foregoing type, so that damage to such couplings as a result of misalignment is avoided.