측정 가스 챔버 내의 측정 가스의 입자를 검출하기 위한 센서 요소

본 발명은 측정 가스 챔버 내의 측정 가스의 입자를 검출하기 위한 센서 요소(110)에 관한 것이다. 센서 요소(110)는 적어도 하나의 지지체(114)를 포함하고, 상기 지지체(114) 상에 적어도 하나의 제 1 전극 장치(116) 및 적어도 하나의 제 2 전극 장치(118)가 제공된다. 제 1 전극 장치(116) 및 제 2 전극 장치(118)는 각각 적어도 하나의 전극 핑거(120)를 포함한다. 측정 가스(112)가 작용하도록 설계된, 전극 핑거(120)의 적어도 하나의 표면(124)은 전극 재료(126)를 포함하고, 상기 전극 재료는 팔라듐, 이리듐, 루테늄 및 로듐을 포함하는 그룹으로부터 선택된, 적어도 50 중량%의 비금속(base metal)을 포함한다. The invention relates to a sensor element (110) for detecting particles of a measuring gas in a measuring gas chamber. The sensor element (110) comprises at least one support (114), wherein at least one first electrode device (116) and at least one second electrode device (118) are mounted on the support (114). The first electrode device (116) and the second electrode device (118) each comprise at least one electrode finger (120). At least one surface (124) of the electrode finger (120), designed for the measuring gas (112) to act upon, comprises an electrode material (126) which comprises at least 50 wt.% of a base metal, selected from the group containing ruthenium, rhodium, and iridium.