위치 제어 장치, 위치 제어 방법, 및 초음파 영상 시스템

초음파 탐촉부(1)가 시료 표면의 n-1라인째를 주사하였을 때의, 초음파를 송신하고 나서 반사파를 수신할 때까지의 시간과 기준 시간의 n-1라인째의 편차를 초음파 탐촉부를 n라인으로 이동시키기 전에 기억하는 기억부(37)와, 해당 n-1라인째의 편차에 기초하여, 상기 초음파 탐촉부(1)가 시료 표면의 n라인째를 주사할 때의, 상기 초음파 탐촉부(1)의 위치를 결정하고, 또한, 상기 초음파 탐촉부가 시료 표면의 n라인째를 주사할 때, 초음파를 송신하고 나서 반사파를 수신할 때까지의 시간과 기준 시간의 n라인째의 편차를 산출하는 처리부(35)를 구비한다. 상기 처리부(35)는, 상기 편차를 제로로 하도록, 상기 시료 표면에 대하여 수직 방향에 있어서의 상기 초음파 탐촉부(1)의 위치를 결정한다. A position control device includes a storage unit (37) that is configured to store a deviation in an (n-1)-th line when an ultrasonic probe unit (1) scans the (n-1)-th line of a surface of a sample before the ultrasonic probe unit moves to an n-th line, the deviation being between time from transmitting an ultrasonic wave until a reflected wave is received and a reference time; and a processing unit (35) that is configured to determine a position of the ultrasonic probe unit (1) when the ultrasonic probe unit (1) scans the n-th line of the surface of the sample based on the deviation in the (n-1)-th line, and to calculate a deviation in the n-th line between time from transmitting an ultrasonic wave until a reflected wave is received and the reference time when the ultrasonic probe unit scans the n-th line of the surface of the sample. The processing unit (35) is configured to determine the position of the ultrasonic probe unit (1) in a direction perpendicular to the surface of the sample such that the deviation is zero.